Garinant elektronų pluoštą, plėvelės medžiaga patalpinama į vandeniu -aušinamą varinį tiglį ir tiesiogiai naudojant elektronų pluošto kaitinimą, kad plėvelės medžiagoje esantys atomai arba molekulės išgaruotų ir pasišalintų nuo paviršiaus, tada patenka į pagrindo paviršių ir kondensuojasi į plėvelę.
Elektronų pluošto išgarinimas turi didesnį šiluminį efektyvumą, didesnį pluošto srovės tankį, greitesnį garavimo greitį ir didesnį plėvelės grynumą nei bendrasis atsparumas kaitinant.
Programos:
Elektroninio pluošto išgarinimo vakuuminio dengimo įranga gali padengti įvairias plėvelių sistemas daugybe sluoksnių, pvz., trumpųjų -bangų pralaidumo, ilgosios{1}}bangos pralaidumo, anti-atspindinčios plėvelės, atspindinčios plėvelės, filtravimo plėvelės, spektroskopinės plėvelės, pralaidumo juostos plėvelės, dielektrinės plėvelės, spalvotos plėvelės, stipriai atspindinčios{3} ir kt.
Jis gali padengti 0–50 plėvelės sluoksnių plėvele, taip pat gali atitikti tokių gaminių, kaip automobilių atspindintis stiklas, akiniai, optiniai lęšiai, šaltos šviesos puodeliai ir kt., dangos reikalavimus.
Jis gali padengti įvairias plėvelių sistemas skirtingais garavimo šaltiniais, elektronų patrankomis, jonų šaltiniais ir plėvelės storio matuokliais, taip pat gali išgarinti metalus, oksidus, junginius ir kitas aukšto -lydymosi-plėvelių medžiagas.
Savybės:
Optinio dengimo mašinoje yra kvarco kristalo plėvelės storio matuoklis, o PLC ir jutiklinio ekrano sistema yra sujungta, kad būtų galima automatiškai valdyti visą darbo procesą, pasižymintį puikiu darbo efektyvumu ir produkto kokybės pakartojamumu.
Tinka naudoti gamintojams optinėje srityje ir didelio masto{0}}pramoninės gamybos reikalavimams.
Specifikacija:
| Optinio dengimo mašina | |||||||
|
Modelis |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kameros dydis |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Vakuuminis įrenginys |
KT500 difuzinio siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
KT500 difuzinio siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
|
Dengimo sistema |
Elektroninio pistoleto garavimo šaltinis, dangos pagalbinis jonų maitinimo šaltinis arba Hall jonų šaltinis |
||||||
|
Infliacijos sistema |
Slėgio reguliatorius |
||||||
|
Kontrolės metodas |
Rankinis arba visiškai automatinis |
||||||
|
Plėvelės storio stebėjimo sistema |
Kvarcinio kristalo plėvelės storio stebėjimo sistema |
||||||
|
Siurbimo greitis |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Galutinis vakuumas |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Pastaba |
Aukščiau pateikti įrangos parametrai yra skirti tik nuorodai ir yra suprojektuoti bei pritaikyti pagal faktinius klientų proceso reikalavimus. |
||||||
Populiarus Žymos: elektronų pluošto garinimo vakuuminio dengimo įranga, Kinijos elektronų pluošto garinimo vakuuminio dengimo įrangos gamintojai, tiekėjai, gamykla
