Elektronų pluošto išgarinimas yra įdėti plėvelės medžiagą į vandenį aušinamą vario tiglį ir tiesiogiai naudoti elektronų pluošto kaitinimą, kad atomai ar molekulės būtų pagamintos plėvelės medžiagoje, išgarinti ir ištrūkti iš paviršiaus, tada patekti į substrato paviršių ir kondensuoti į plėvelę.
Elektronų pluošto išgarinimas turi didesnį šiluminį efektyvumą, didesnį pluošto srovės tankį, greitesnį išgarinimo greitį ir didesnį plėvelės grynumą nei bendras atsparumo šildymo garinimas.
Programos:
Optinis dangos aparatas gali padengti įvairias plėvelės sistemas su daugybe sluoksnių, tokių kaip trumpų bangų praėjimas, ilgų bangų leidimas, antireflekcijos plėvelė, atspindinčios plėvelės, filtro plėvelės, spektroskopinės plėvelės, pralaidumo plėvelės, dielektrinės plėvelės, aukšto atspalvio plėvelės, spalvų atspindinčios plėvelės ir kt.
Tai gali pasiekti 0-50 plėvelės sluoksnių plėvelės dangą, taip pat gali atitikti tokių produktų, kaip automobilių atspindinčio stiklo, akinių, optinių lęšių, šaltų šviesos puodelių ir kt., Dengimo reikalavimus.
Jis gali padengti įvairias plėvelės sistemas, turinčias skirtingus garinimo šaltinius, elektronų pistoletą, jonų šaltinius ir plėvelės storio matuoklius, ir gali išgaruoti metalus, oksidus, junginius ir kitas aukšto sluoksnio filmo medžiagas.








Savybės:
Optinės dangos aparatas yra aprūpintas kvarco krištolo plėvelės storio matuokliu, o PLC ir jutiklinio ekrano sistema sujungiama, kad būtų galima automatiškai valdyti visą darbo procesą, turintį puikų darbo efektyvumą ir produkto kokybės pakartojamumą.
Tinka naudoti gamintojams optiniame lauke ir didelio masto pramoninės gamybos reikalavimus.
Specifikacija:
| Optinė dangos mašina | |||||||
|
Modelis |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kameros dydis |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1400 × 1600 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
|
Vakuuminis vienetas |
KT500 difuzijos siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzijos siurblio blokas |
KT500 difuzijos siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzijos siurblio blokas |
|
Dangos sistema |
Elektronų pistoleto garinimo šaltinis, dengimo pagalbinis jonų skirtas maitinimo šaltinis arba salės jonų šaltinis |
||||||
|
Infliacijos sistema |
Slėgio valdiklis |
||||||
|
Valdymo metodas |
Rankinis arba visiškai automatinis |
||||||
|
Filmo storio stebėjimo sistema |
Kvarco kristalų plėvelės storio stebėjimo sistema |
||||||
|
Siurbimo greitis |
5 × 10-3PA ﹤ 15 min |
||||||
|
Galutinis vakuumas |
3.0x10-4PA |
||||||
|
Pastaba |
Aukščiau pateikti įrangos parametrai yra skirti tik nuorodoms ir yra suprojektuoti ir pritaikyti atsižvelgiant į faktinius klientų proceso reikalavimus. |
||||||
Populiarus Žymos: Optinio dangos mašina, Kinijos optinių dangos mašinų gamintojai, tiekėjai, gamyklos
