Vakuuminis garinimas: Principas yra kaitinti plėvelės medžiagą garintuvu vakuumo sąlygomis, kad ji išgaruotų arba sublimuotų, o tada išgaravusių dalelių srautas nukreipiamas tiesiai į pagrindą, kur jis nusodinamas, kad susidarytų kieta plėvelė. Garinimas taip pat skirstomas į elektronų pluošto garavimą, pasipriešinimo garavimą, indukcinį garavimą ir kt.
Jonų padengimas: jonų dengimas paprastai reiškia dengimo metodą, kuris dengimo proceso metu sukuria daug jonų. Plėvelės formavimo proceso metu substratas nuolat bombarduojamas didelės-energijos dalelėmis, todėl susidaro labai stiprus plėvelės sluoksnis, pasižymintis puikiu tvirtumu ir sukibimu. Kai jonų dengimas naudojamas didelio-tikslumo plėvelėms sukurti, didelės jonų dalelės gali būti išfiltruotos, todėl susidaro labai struktūrizuota ir tanki plėvelė.
Kasdieniame gyvenime dažniausiai naudojamos vakuuminio dengimo įrangos dengimo technologijos yra šios trys. Konkretus pasirinkimas priklauso nuo to, kokį plėvelės sluoksnį dengti ir kokį ruošinį dengti.
