Darbo kelių lanko dengimo mašinos principas

Kelių lankų dangos aparatas sukuria aukštos temperatūros plazmą per kelis lanko šaltinius (4-16), išgarina metalinę medžiagą ir nusodina ją ant substrato paviršiaus, kad būtų pasiekta efektyvi dangos (plėvelės storio vienodumas ± 5%). Jos pagrindinė vakuuminė kamera yra padalinta į dangos kamerą (vakuumo laipsnis mažesnis arba lygus 10^-3PA) ir išankstinio gydymo kamerai. Pirmasis užtikrina mažo aspekto aplinką, o antrasis yra naudojamas substrato valymui ir poliravimui, siekiant pagerinti sukibimą. Pagrindiniai proceso parametrai yra lanko šaltinio galia (20-200a), substrato temperatūra (100-300 laipsnių) ir nusėdimo greitis (1-10 nm/s), kuriuos reikia dinamiškai sureguliuoti pagal substrato formą (pvz., Sudėtingus išlenktus paviršius) ir medžiagą (metalo/keramikos). Tai tinka tokioms scenoms kaip optinio objektyvo antireflekcijos plėvelės ir įrankių kietas dengimas.