Pirma, turime paaiškinti, kad vakuuminės kameros užterštumas iš esmės yra susijęs su įvairiomis priemaišomis (vandens garais, angliavandeniliais, dulkėmis, riebalais ir kt.), kurios prilimpa prie kameros sienelių arba vidinių komponentų paviršių, formuoja dujų ir garų šaltinius, kurie sutrikdo vakuuminės aplinkos pusiausvyrą. Šie teršalai yra iš daugybės šaltinių, įskaitant pjovimo skysčio ir tepalų likučius apdirbant ruošinį, rankų prakaitą darbo metu, ore esančias dulkes ir net nešvarumų pėdsakus, patenkančius į vakuuminį siurblį, arba lakiąsias medžiagas iš tikslinės medžiagos ar pagrindo. Nepriklausomai nuo užteršimo tipo, pagrindinė atkūrimo strategija yra „tiksliai pašalinti priemaišas, nepažeidžiant kameros medžiagos ir atkuriant vakuuminę aplinką“. Įvairių tipų taršai reikalingi skirtingi regeneravimo metodai.
1 būdas: kaitinimas, kad „išgaruotų“ nešvarumai - Vakuuminis kaitinimo valymo metodas Tai pats paprasčiausias ir dažniausiai naudojamas atkūrimo metodas. Principas labai paprastas: kaip ir džiovinant drabužius su vandens dėmėmis, taip ir kaitinant išgaruoja ertmės paviršiuje esančios lakiosios priemaišos (pavyzdžiui, vandens garai ir švelnūs angliavandeniliai), o vėliau jos pašalinamos vakuuminiu siurbliu, taip pasiekiamas valymas.
2 metodas: teršalų „skilimas“ ultravioletiniu spinduliu - Valymo ultravioletiniu spinduliu metodas. Jei ertmės užterštumas daugiausia sudarytas iš angliavandenilių (tokių kaip tepalinės alyvos likučiai ir organiniai teršalai), ultravioletinių spindulių valymo metodas bus efektyvesnis. Be to, jis yra ne-kontaktinis ir nepažeidžiamas viso proceso metu, todėl ypač tinka scenarijuose, kuriems keliami itin dideli medžiagų reikalavimai, pvz., tikslios optinės ertmės ir puslaidininkių vakuuminės ertmės.
3 būdas: jonų „bombardavimo“ nukenksminimo - iškrovimo valymo metodas. Didelio vakuumo ir ypač didelio vakuumo ertmėse (tokiose kaip vakuuminio dengimo įranga ir puslaidininkių jonų implantavimo ertmės) užterštumas dažnai būna užsispyręs, ypač anglies ir angliavandenilių nerūdijančio plieno ertmių paviršiuje, kuriuos sunku pašalinti įprastais metodais. Šiuo atveju reikalingas išmetimo valymo metodas, kuris taip pat yra pagrindinis metodas giluminiam vakuuminių ertmių atstatymui.
4 būdas: Dujų „nuplovimas“ priemaišomis - Dujų plovimo metodas Jei ertmė yra tik šiek tiek užteršta arba jei reikia greitai atsigauti ir sutrumpinti evakuacijos laiką, geriausias pasirinkimas yra dujų plovimas. Jis skirstomas į praplovimą azotu ir reaktyvų dujų praplovimą, kurie tinka įvairiems scenarijams.
Reikėtų pabrėžti apsaugą po{0}}užteršimo: po restauravimo ertmė turi būti apsaugota nuo alyvos ir dulkių. Eksploatacijos metu reikia imtis apsaugos priemonių ir reguliariai prižiūrėti vakuuminį siurblį, kad būtų sumažinta pakartotinio užteršimo galimybė. Tai ypač svarbu srityse, kurioms keliami itin aukšti švaros reikalavimai, pavyzdžiui, puslaidininkių ir kosmoso pramonėje, kur ertmių švara tiesiogiai nulemia gaminio tarnavimo laiką ir našumą. Vakuuminės ertmės švara yra aukščiausios klasės-vakuuminių procesų „gelbėjimosi ratas“. Tiesą sakant, įvaldžius šiuos keturis šerdies atkūrimo metodus ir lanksčiai parenkant tinkamą metodą pagal užterštumo laipsnį ir ertmės medžiagą, ertmės užterštumo problemas galima nesunkiai išspręsti, užtikrinant stabilų vakuuminės sistemos veikimą. Tobulėjant tiksliajai gamybos pramonei, vakuuminio valymo technologija taip pat nuolat atnaujinama – nuo tradicinio šildymo valymo iki aplinkai nekenksmingo ir efektyvaus iškrovimo ir plazminio valymo. Vis daugiau metodų užtikrina vakuuminių ertmių švarą ir aukščiausios klasės- gamybos apsaugą.
Sveiki atvykę į mūsų Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine daugiau mašinų vaizdo įrašų, ačiū.
