1. Vakuuminės kameros
Vakuuminė kamera yra pagrindinė vakuuminės dangos mašinos dalis. Pagrindinė jo funkcija yra sukurti vakuuminę aplinką ir išlaikyti dangos procesą vakuume. Vakuuminė kamera paprastai yra pagaminta iš nerūdijančio plieno arba aliuminio lydinio medžiagų, turinčių didelį vakuuminį sandarinimą ir atsparumą korozijai.
2. Siurblių sistema
Siurblių sistema yra vienas iš pagrindinių vakuuminio dangos mašinos komponentų. Tai daugiausia atsakinga už dujų išgavimą vakuuminės kameroje, kad vakuuminis laipsnis pasiektų reikiamą laipsnį. Siurblio sistemą paprastai sudaro molekuliniai siurbliai, mechaniniai siurbliai ir difuzijos siurbliai. Skirtingi siurblių deriniai gali pasiekti skirtingus vakuuminius laipsnius ir siurbimo greitį.
3. Substrato spaustuko įtaisas
Substrato spaustuko įtaisas yra dar vienas svarbus vakuuminio dangos mašinos komponentas. Jis naudojamas pritvirtinti substrato medžiagą, kurią reikia padengti, ir valdyti jos padėties bei judesio trajektoriją. Substrato spaustuko įtaisą paprastai sudaro besisukanti stalas, kėlimo mechanizmas ir substrato spaustukas. Skirtingi spaustukai gali prisitaikyti prie skirtingų formų ir dydžių substratų.
4. Šildymo sistema
Šildymo sistema yra būtinas vakuuminio dangos mašinos komponentas. Jis gali šildyti substratą ir dangos medžiagą, kad būtų skatinama dangos susidarymas ir pagerina jos kokybę. Šildymo sistema paprastai įgyvendinama atsparumo viela, elektromagnetiniu šildymu, indukciniu šildymu ir kitais metodais.
5. Danga Šaltinis
Dengimo šaltinis yra paskutinis vakuuminio dangos mašinos komponentas. Jis naudojamas pateikti medžiagą, kurią reikia padengti, paprastai įskaitant metalus, keramiką, silicį ir kitas medžiagas. Dengimo šaltinis gali nusodinti medžiagą ant substrato elektronų pluoštu, išgarinant, dulkinant ir kitus būdus, kad būtų sudarytos reikiamos dangos.
SANTRAUKA: Vakuuminio dangos aparatas yra prietaisas, naudojamas gaminti aukštos kokybės dangas, kuriose vakuuminės kameros, siurblio sistemos, substrato spaustuko prietaiso, šildymo sistemos ir dangos šaltinis yra pagrindiniai jos komponentai. Šie komponentai veikia kartu, kad baigtų dengimo paruošimo procesą.
