Optinio vakuuminio dengimo mašinų priežiūra
(1) Reguliariai keiskite difuzinio siurblio alyvą
Difuzinio siurblio alyva turėtų būti naudojama maždaug du mėnesius (dvi pamainos). Dėl ilgalaikės -aukštos{2} temperatūros aplinkos, nors difuzijos siurblys įjungiamas tik esant santykinai dideliam vakuumui, likutinis deguonis ir kiti komponentai gali reaguoti su difuzijos siurblio alyva. Aukšta temperatūra taip pat gali sukelti difuzinio siurblio alyvos irimą, pablogindama jos kokybę ir pailgindama siurbimo laiką. Jei siurbimo laikas yra per ilgas, jį reikia pakeisti.
(2) Vakuuminiai siurbliai: mechaninio siurblio alyvos ir priežiūros siurblio alyvos kokybė pasikeis po dviejų mėnesių naudojimo. Taip gali nutikti dėl drėgmės, nešvarumų ir kitų veiksnių, dėl kurių gali pablogėti alyvos klampumas ir sumažėti vakuumas, todėl jį reikia pakeisti. Nauja įranga turi būti pakeista per pirmąsias dvi naudojimo savaites. Pertraukos{4}} metu alyvoje yra didelė geležies dulkių koncentracija, todėl gali padidėti susidėvėjimas.
(3) Švara ir sanitarijos sąlygos: reguliariai prižiūrėkite įrangos ir jos aplinkos higieną, išlaikykite švarą įrangos viduje ir išorėje, o aplinką sutvarkykite, kad sukurtumėte gerą darbo aplinką ir užtikrintumėte saugumą.
Valymas anOptinė vakuuminė dengimo mašina
Po vienos savaitės veikimo (trijų pamainų) dangos medžiaga padengs ne tik ruošinio paviršių, bet ir kameros viduje esantį įdėklą dėl ne{0}}kryptinės dangos. Danga palaipsniui taps storesnė. Ši plėvelė dėl savo laisvos struktūros ir įsipainiojimo sugeria didelį kiekį dujų, todėl vakuuminio dengimo įranga lėčiau pumpuoja orą. Šiuo metu reikia išvalyti kamerą ir įdėklą. Nereikalingus išmontavimo elementus galima švariai nušlifuoti. Įdėklą galima mirkyti vandenilio fluorido rūgšties tirpale. Vandenilio fluorido rūgšties ir vandens santykis turėtų būti nustatomas atsižvelgiant į reikalingą mirkymo laiką ir norimą poveikį įdėklui. Prieš montuojant pamušalas turi būti išdžiovintas. Prieš džiovinimą nuvalykite įdėklą kuo sausiau. Švitriniu popieriumi nuvalę darbinį rėmą ir kitus komponentus, iš vakuuminės kameros pašalinkite visas dulkes. Tai galima padaryti naudojant dulkių siurblį. Galiausiai, montuodami įdėklą, ir vakuuminę kamerą, ir įdėklą reikia nuvalyti alkoholiu kontroliuojama servetėle. Naudojant elektronų pistoletą ir jonų šaltinį, padedantį dengti, valymas gali apsunkinti; galima naudoti smėliasrovę ar kitus valymo būdus.
