1. Pagrindinė vakuuminės dangos mašinos struktūra
Vakuuminės dangos aparatas yra prietaisas, kuris fiziniais ar cheminiais metodais nusodina ploną plėvelę ant substrato paviršiaus vakuume. Jos pagrindinė struktūra apima šias dalis:
1. Vakuuminė sistema: Jį sudaro mechaninis siurblys, molekulinė siurblys, difuzijos siurblys ir kt., Kuris naudojamas dengimo kamerai siurbti iki aukštos vakuuminės aplinkos, esančios 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (žr. „Vakuuminės dangos technologijos vadovas“). Pvz., Mechaninis siurblys gali sumažinti slėgį iki 1 ~ 10 PA, o molekulinis siurblys gali dar labiau sumažinti jį iki žemiau 10⁻⁴ PA.
2. Dangos kamera: Pagrindinis korpusas yra nerūdijančio plieno ertmė, kuri yra atspari korozijai ir turi stiprų sandarinimą. Dydis svyruoja nuo 0,5 m³ mažoms laboratorijoms iki 5 m³ pramoniniam laipsniui (pvz., ULVAC ARL-300 modelis).
3. Garinimo šaltinis: Pasirinkite pasipriešinimo šildymą, elektronų pluoštą arba magnetrono dulkinimo šaltinį pagal proceso reikalavimus. Pavyzdžiui, elektronų pluošto išgarinimo šaltinio galia gali pasiekti 10 kW, o garinimo greitis yra apie 1 ~ 5 nm/s.
2. Įvairių dangos mašinų tipų sudėties skirtumai
1. Fizinio garų nusėdimo (PVD) įranga:
- „Magnetron“ dulkinimo dangos mašinos turi būti aprūpintos tikslinėmis medžiagomis (tokiomis kaip titano taikiniai, aliuminio taikiniai) ir magnetinio lauko sistemos, o darbinis dujų slėgis paprastai yra 0,1 ~ 10 PA.
- Lanko jonų dangos mašinos prideda lanko šaltinius, srovė gali pasiekti 100 ~ 200 A, o plėvelės sukibimas yra stipresnis.
2. Cheminio garų nusėdimo (CVD) įranga:
- Reikia įvesti reaktyviosios dujos (tokios kaip SIH₄, CH₄), o dujų srauto valdymo sistema yra įrengta, o tikslumas yra ± 1 SCCM (standartiniai mililitrai per minutę).
3. Pagalbinės sistemos ir pagrindiniai techniniai parametrai
1. Valdymo sistema: PLC arba pramoninis kompiuteris naudojamas vakuumui, temperatūrai (± 1 laipsnio tikslumui) ir plėvelės storiui stebėti (išmatuotas kvarco kristalų virpesių metodu, tikslumu ± 0,1 nm) realiu laiku.
2. Aušinimo sistema: Vandens aušinimo vamzdyno projektinio srauto greitis paprastai yra 20 ~ 50 l/min, kad būtų užtikrintas ilgalaikis įrangos veikimo stabilumas.
Iv. Taikymo scenarijai ir atrankos rekomendacijos
1. Optinė danga: reikalingas didelis vienodumas (± 1% storio nuokrypis), ir jai reikia pasirinkti daugialypį elektronų pluošto garinimo šaltinį.
2. Įrankių danga: sutelkta į kietumą (tokią kaip alavo danga, gali būti pasiekta 2000 HV), ir pirmenybė teikiama lanko jonų dengimo įrangai.
Atlikdami aukščiau pateiktą analizę, vartotojai gali pasirinkti atitinkamą dangos mašinos tipą ir konfigūraciją pagal faktinius poreikius (pvz., Filmo našumą, gamybos efektyvumą).
