„Vacuum“ dangos gamybos linija yra labai specializuota gamybos sistema, kuri daugiausia naudojama vienam ar keliems ypač plonų funkcinių plėvelių sluoksniams dėti ant substratų paviršiaus (tokių kaip stiklas, plastikas, metalas, keramikos, puslaidininkių vaflinė ir kt.).
Jos šerdis yra garinti arba jonizuoti dangos medžiagą įvairiais fiziniais metodais labai vakuuminėje aplinkoje, o po to sutelkia ją į plėvelę ant substrato paviršiaus.
Programos:
Vario, sidabro ir kitų laidžių medžiagų vakuuminė danga ant elektrinės komponentų keramikos ir grandinės lentos keramikos paviršiaus.
Jis taip pat tinka įvairių metalinių plėvelės sluoksnių vakuuminiams nusodinti ant kitų panašių į plokšteles panašių ruošinių (stiklo, akrilo plokštės ir kt.) Paviršiuje;
Pagrindinės savybės:
Magnetinis laukas riboja plazmą
Tai yra pagrindinė magnetrono dulkinimo bruožas. Taikant stiprų specifinės formos magnetinį lauką (paprastai žiedą ar lenktynių taką) šalia tikslinio paviršiaus, elektronai yra uždaryti šalia tikslinio paviršiaus, kad galėtų judėti spiraliniu judesiu, o tai labai padidina elektronų susidūrimo ir jonizacijos tikimybę su darbinėmis dujomis (paprastai argono) atomais.
Aukštas jonizacijos greitis ir didelis nusėdimo greitis
Magnetinio lauko uždarymas žymiai padidina plazmos tankį ir jonizacijos greitį, todėl purškimo procesas tampa efektyvesnis.
Tai reiškia, kad esant palyginti žemam dujų slėgiui ir žemai dulkinimo įtampai/galiai gali būti pasiektas daug didesnis dulkinimo ir nusėdimo greitis nei įprastas nuolatinės srovės dulkinimas.
Žemos temperatūros procesas
Kadangi didžioji dalis energijos naudojama jonizuoti dujų ir dulkių taikinių atomus, palyginti mažai šilumos perkeliama į substratą.
Gera filmo kokybė
Geras tankis, stiprus sukibimas, didelis grynumas ir geras vienodumas.
Platus medžiagų prisitaikymo asortimentas
Geras proceso valdymas
Magnetronas dulkinanti dangos gamybos linija tapo viena iš pagrindinių technologijų, skirtų funkcinėms plonoms plėvelėms paruošti (pvz., Optinės plėvelės, laidžios plėvelės, drabužiams atsparūs kietieji plėvelės, dekoratyvinės plėvelės, antikorozės plėvelės, magnetinės plėvelės, žemos temperatūros filmai ir kt. Medžiagos pritaikomumas, geras vienodumas ir kontroliuojamumas. Jis turi ypač plačius mikroelektronikos, plokščių plokščių ekranų, saulės elementų, įrankių dangų, automobilių dalių, pakuočių, dekoravimo, optinių prietaisų ir kitų laukų.
Populiarus Žymos: Magnetrono dulkinimo dangos linija, Kinijos magnetrono dulkinimo dangos linijų gamintojai, tiekėjai, gamyklos
